截至2026年2月6日 13:55，上證科創(chuàng)板半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)上漲0.38%，成分股歐萊新材上漲15.39%，耐科裝備上漲5.69%，中芯國際上漲1.96%，新益昌上漲1.96%，中科飛測上漲1.29%?？苿?chuàng)半導(dǎo)體ETF（588170）上漲0.40%，最新價報1.75元。

截至2026年2月6日 13:57，中證半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)上漲0.52%，成分股江豐電子上漲11.99%，有研新材上漲5.63%，矽電股份上漲4.70%，上海新陽上漲1.49%，北方華創(chuàng)上漲1.46%。半導(dǎo)體設(shè)備ETF華夏（562590）上漲0.21%，最新價報1.9元。

流動性方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF盤中換手7.81%，成交6.19億元；半導(dǎo)體設(shè)備ETF華夏盤中換手3.94%，成交1.07億元。

規(guī)模方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF近1月規(guī)模增長40.51億元，實現(xiàn)顯著增長，新增規(guī)模領(lǐng)先同類；半導(dǎo)體設(shè)備ETF華夏最新規(guī)模達27.11億元。

資金流入方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF最新資金凈流出3098.24萬元。拉長時間看，近10個交易日內(nèi)有6日資金凈流入，合計“吸金”5.81億元，日均凈流入達5807.48萬元；半導(dǎo)體設(shè)備ETF華夏最新資金凈流出929.88萬元。拉長時間看，近23個交易日內(nèi)有18日資金凈流入，合計“吸金”18.64億元，日均凈流入達8103.04萬元。

消息面上，國產(chǎn)TGV電鍍設(shè)備廠商蘇科斯（江蘇）半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司，近日宣布完成數(shù)千萬人民幣A輪融資。本輪融資由湖瓴基金獨家投資，資金主要用于產(chǎn)能擴充、投入研發(fā)更高深寬比的TGV電鍍設(shè)備，夯實TGV產(chǎn)品矩陣。

愛建證券指出，AI算力需求持續(xù)爆發(fā)，帶動半導(dǎo)體設(shè)備、存儲賽道景氣度上行。ASML2025年業(yè)績穩(wěn)步增長，EUV光刻機技術(shù)壁壘顯著；三星電子、SK海力士受益于存儲芯片供需緊張、價格上漲，并持續(xù)推進高端存儲產(chǎn)品研發(fā)。建議關(guān)注國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備及存儲產(chǎn)業(yè)鏈上市公司的投資機會。

相關(guān)ETF：公開信息顯示， 科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF（588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)，囊括科創(chuàng)板中 半導(dǎo)體設(shè)備（60%）和半導(dǎo)體材料（25%）細分領(lǐng)域的硬科技公司。 半導(dǎo)體設(shè)備和材料行業(yè)是重要的國產(chǎn)替代領(lǐng)域，具備國產(chǎn)化率較低、國產(chǎn)替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導(dǎo)體需求，擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術(shù)進展。

半導(dǎo)體設(shè)備ETF華夏（562590）及其聯(lián)接基金（A類：020356；C類：020357），指數(shù)中半導(dǎo)體設(shè)備（63%）、半導(dǎo)體材料（24%）占比靠前，充分聚焦半導(dǎo)體上游。